样品要求
1、 如果测试晶圆盒之间的摩擦系数需要准备两片，尺寸为80 mm×200 mm的片状试样；
2、 如果测试晶圆盒与wafer之间的摩擦系数需要准备一片，尺寸为80 mm×200 mm的片状试样，同时准备一片12寸wafer；
3、 试样试验表面无灰尘、指纹和任何可能改变表面性质的外来物种；
测试须知
测试晶圆盒样品一般需要客户自行制样，如需我司制样，提前沟通联系；
测试详情
动摩擦系数和静摩擦系数；
设备详情
1、负荷范围：0～5 N；
2、精度：0.5 级；
3、行程：70 mm、150 mm；
4、试验速度：100 mm/min、150 mm/min；
5、滑块质量：200 g；