样品要求
表面平整，尺寸可超过Φ300mm
测试详情
非透明样品表面粗糙度
设备详情
大型龙门架和旋转头设计： 为大型零件上的困难取向提供独特的访问途径;
长焦距物镜：扩大了样品类型的可能性;
内窥镜物镜： 捕获气缸或孔内壁最远 150 毫米的 3D 数据;和
折叠镜： 可对孔和气缸的内径以及坡度高达 70° 的转鼓形状的侧壁进行无损分析。
Z轴分辨率：0.1nm