样品要求
尺寸>10mm*10mm
测试详情
方块电阻，电导率，电阻率
设备详情
量测范围：1m?/sq - 200M?/sq
最大测绘直径：300mm 圆形
XY载台运动范围：200mm x 200mm
最大样品容许高度：15mm