半导体零部件-硅片及薄膜中气体元素分析
检测项: 硅片及薄膜中气体元素分析
上海集材汇智集成电路技术有限公司
服务详情
样品要求衬底材料：10mm*10mm测试详情硅片及薄膜中的气体元素定性及定量分析设备详情加热方式：石英棒引入红外线加热样品室真空：< 1E-7PaH检出限：< 1E16atoms/cm3(单晶硅)质量范围：1-200
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