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扫描电镜利用电子束打在样品表面逐点扫描，与样品作用产生各种信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在显示屏上反映样品表面各种特征的像，且有强烈的立体感。
扫描电镜与显微分析技术广泛应用于材料、冶金、化学和半导体等各个研究领域，对于样品表面形貌观察、缺陷定位具有十分重要的作用。
常见的电子元器件显微分析技术包括：
| 电子元器件显微分析技术 | ||
|---|---|---|
| 光学显微镜分析技术 | 体视显微镜 | 主要用来元器件的表面缺陷。 |
| 金相显微镜 | 放大倍数更高，主要用于切片观察，通过对器件不同位置的切片观察来检测缺陷。 | |
| 显微红外热像仪分析技术 | 显微红外热像仪 | 根据器件表面异常温度点来定位失效区域。主要用于分析功率器件和混合集成电路。 |
| 声学显微镜分析技术 | 超声波声学扫描显微镜 | 可对样品内部检测，主要用于对器件管芯粘结、引线键合、材料多层结构完整性等的检测。 |
| 光辐射显微镜分析技术 | 光辐射显微镜 | 对器件中异常发光部位进行精准定位，还能通过对特征光谱的分析来确定缺陷的性质和类型。 |
| 扫描电子显微镜分析技术 | 扫描电子显微镜 | 超高倍数，可达纳米级别，可直接观测器件表面的细微结构、尺寸检测、形貌分析、材料微区化学成分分析等。 |
| 产品名称 | 检测项目 | 检测标准 |
| 电子元器件 | 显微分析 | 通用标准 |
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