赋能芯时代丨集成电路检测技术与应用主题研讨会成功举办

我要测网讯  6月27日，由我要测网与北京普天德胜科技孵化器有限公司联合举办的 “集成电路检测技术与应用”主题网络研讨会成功召开。共有1500余人在线参与此次会议。

中国科学院微电子研究所 研究员刘涛

报告主题：集成电路制造中的在线量测技术、装备及新路径探索

集成电路是信息产业的核心和基石，也是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。中国科学院微电子研究所研究员刘涛从需求与市场，技术共性特征，典型技术与仪器，趋势与展望四方面进行精彩分享。他表示目前国内集成电路制程量测装备市场为80亿每年，国内设备市场占全球16%，国内市场的国内自主研制设备占比低于15%，集成电路制造中的在线量测仪器商场分布特点为20%的高端产品占80%市场份额以上。未来有巨大的发展潜力。

在线量测是芯片制造的保障，及时发现问题并修正，保障单工艺良率，是芯片制造的核心竞争力之一。集成电路制造在线量测的基础技术为：快速。极低损伤、高精度、高灵敏度、跨尺度。以工艺站点为场景的高度集成解决方案是集成电路制造在线量测仪器设定，对传统仪器厂商提出了更高的要求。最后其结合典型技术案例对光学线宽与膜厚测量、偏振光谱与OCD、图形晶圆光学缺陷检测等进行了详细的分析讲解。

苏州华碧微科检测技术有限公司研发经理 张娜娜

报告主题：车规级集成电路AEC-Q100测试认证技术

苏州华碧微科检测技术有限公司研发经理张娜娜首先从AEC-Q的来源和系列标准进行分享，AEC是美国汽车电子委员会的简称。AEC由克莱斯勒，福特和通用汽车发起并创立于1994年，目前会员遍及全球各大汽车厂、汽车电子和半导体厂商， AEC-Q是汽车领域的准入门槛，可以说要进入汽车领域，打入各Tier车电大厂供应链，必须取得两张门票，第一张是由北美汽车产业所推的AEC-Q可靠度标准，第二张门票则是要符合零失效的供应链质量管理标准IATF16949规范。AEC-Q100是AEC的第一个标准，主要是针对车载应用的集成电路产品所设计出的一套应力测试标准，此规范对于提升产品信赖性品质保证相当重要。AEC-Q100是预防可能发生各种状况或潜在的故障状态，对每一个芯片进行严格的质量与可靠度确认，特别对产品功能与性能进行标准规范测试。

华东光电集成器件研究所 所级关键技能带头人张乐银

报告主题：半导体工艺加工过程中使用的检测技术

半导体检测是提高良率、提高竞争实力的关键。华东光电集成器件研究所所级关键技能带头人张乐银带来了主题为“半导体工艺加工过程中使用的检测技术”的报告，其主要从半导体工艺中检测的意义，晶圆阶段用到的检测技术，集成电路封装工艺流程，封装阶段用到的检测技术四个方面进行精彩分享。

其重点对封装阶段用到的检测技术进行了讲解，检测类型包括光学检测、声学检测及其他质量监控检测。其中光学检测主要包括检测显微镜和X射线检查，声学检测主要使用超声扫描检查显微镜和扫描电镜。其他质量监控检测主要涉及粘接强度检测、链合拉力检测、引线键合弹坑实验。

集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，是培育战略性新兴产业、发展信息经济的重要支持，在信息技术领域的核心地位十分重要。此次研讨会为行业从业人员搭建了交流的平台，为助力产业发展贡献一份力量。