领域分类:材料-半导体材料-其他
检测项目:表面氧化及污染残留
样品要求样品状态:固体块状或wafer样品;尺寸:最大测试8寸晶圆;测试详情测试关于元素成分、化学状态、表面形貌、化学键合深度分析等测试;设备详情0.1%;测试须知固体材料;
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