上海集材汇智集成电路技术有限公司
高级
已认证
放心测
衬底材料-粗糙度
资质:
适用范围:

领域分类:材料-半导体材料-其他

检测项目:粗糙度

详情介绍:
服务背景
检测内容

样品要求
3个长宽大于5*5cm的样品;
要求异形面少,测试区域尽量平整;
最大尺寸:D304mm*W304mm*H249mm;
测试详情
测试样品的粗糙度;
设备详情
垂直扫描高度范围:0.15nm– 10mm ;垂直分辨率<0.15nm;
RMS重现性:0.03nm;光学分辨率:0.49μm;台阶测试精度:5%;
测试须知
样品表面需要保持光滑、无缺陷、无粗糙度、无污渍等;

检测标准
产品名称 检测标准 检测项目
衬底材料 JB/T 7976-2010 轮廓法测量表面粗糙度的仪器 粗糙度
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