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[报告]Hydranal™新一代醛酮试剂登场,半导体用化学品水分检测有了新武器

报告时间: 2026-10-20 01:30

第七届半导体材料检测与器件分析新技术网络研讨会

2026年10月20日 01:00

张彦华 索致泰企业管理(上海)有限公司

张彦华是Hydranal TM卡尔费休试剂全球三位专家之一。负责HydranalTM整个亚太区的水分测试技术支持,具有超过15年的水分测试实践经验,擅长根据不同样品结构,调整合适的卡尔费休试剂类型及仪器参数,解决水分测试过程中的各种疑难杂症。

半导体制作过程中会大量使用化学品,例如:酸碱,有机溶剂,光刻胶,金属有机前躯体等。有些化学品对水分要求非常严格,通常控制在ppm级别。水分超标容易引发晶圆水痕,光刻图形畸变,产品良率下降。金属有机前驱体遇水会分解,直接造成薄膜失效。 迄今为止,大部分商用卡尔费休试剂都含有某种类型的醇,这会限制,甚至阻止对醇敏感样品的水分测试,索致泰全新推出的Hydranal TM NEXTGEN FA新一代醛酮试剂则完全解决了这个问题。这是全球少数商用的无醇,无咪唑,无氯仿的卡尔费休醛酮试剂。该试剂用乙腈完全替代了醇溶剂,即使在反应性很强的样品中,这种新试剂也能获得准确的卡尔费休滴定结果。新配方不含 CMR(致癌、致突变和生殖毒性)物质或卤代烃,将成为滴定挑战性样品的更安全替代品。

索致泰企业管理(上海)有限公司

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