[报告]纳米红外技术及其在半导体工业领域的应用
报告时间: 2025-10-23 07:00
第六届半导体材料与器件分析检测新技术网络研讨会
2025年10月23日 01:00
魏琳琳
布鲁克（北京）科技有限公司
魏琳琳博士， 2014年毕业于武汉理工大学，材料学专业，博士期间主要从事电阻型存储器（RRAM）的机理研究。2014年任纳米红外产品国内应用工程师，负责产品的推广和应用。2018年加入布鲁克公司纳米表面部门，任亚太区纳米红外产品应用工程师，为中国大陆，韩国，台湾，新加坡等地的学术界和工业界客户提供纳米红外产品的应用支持，具有15年原子力和纳米红外光谱和成像相关技术及应用经验。
布鲁克纳米红外技术是新兴的纳米微区红外光谱和成像采集技术。利用原子力探针作为样品红外吸收的传感器，获得超高灵敏度的红外光谱和红外成像，空间分辨能力优于10nm。本报告将介绍纳米红外技术的原理及其在微纳污染物成分鉴定、封装/先进封装、光刻工艺、涂层等多领域的相关案例。
布鲁克纳米表面仪器部(Bruker Nano Surfaces)
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