纳米红外技术及其在半导体工业领域的应用-布鲁克纳米表面仪器部(Bruker Nano Surfaces)-仪器信息网3i讲堂

纳米红外技术及其在半导体工业领域的应用

布鲁克纳米红外技术是新兴的纳米微区红外光谱和成像采集技术。利用原子力探针作为样品红外吸收的传感器，获得超高灵敏度的红外光谱和红外成像，空间分辨能力优于10nm。本报告将介绍纳米红外技术的原理及其在微纳污染物成分鉴定、封装/先进封装、光刻工艺、涂层等多领域的相关案例。