集材检测网是由上海集成电路材料研究院(以下简称“集材院”)发起成立的一站式检测服务商城,主要聚焦于集成电路材料以及零部件材料等相关领域的检测服务。
集材检测网拥有CNAS、CMA等专业资质证书和ICPMS、NMR、SEM等一流品牌专业仪器以及高素养的测试工程师团队,以高水准,高效率的服务帮助企业进行产品研发测试。
图1:CNAS资质证书
图2:CMA资质证书
服务内容
针对衬底材料、抛光材料、湿电子化学品、前驱体、靶材、包装材料、零部件、掩膜版等各类半导体材料及耗材,集材院可提供系统性的理化性能分析服务。
光刻材料
1、 树脂:分子量与分布、分子官能团分析、紫外吸收及含量分析、金属元素及含量、阴离子测试等。
2、 有机物单体、溶剂:金属元素及含量、阴离子测试、颗粒度、水分测试、含量测试等。
3、 光刻胶:金属杂质、颗粒度、含水率、粘度、固含量等。
衬底材料
Wafer表面金杂分析、粗糙度、杂质浓度、氧含量、微观结构/表面纹理/表面损伤等。
抛光材料
1、 抛光垫:剪切模量、压缩比和回弹率、粗糙度、微观结构表征、孔隙率等。
2、 抛光液:Zeta电位值、颗粒粒径、固含量、密度、PH值等。
湿电子化学品
金杂、液体颗粒、总硅测试、固含量、表面张力等。
晶圆盒
金杂污染、颗粒污染、耐高低温、密闭性、热变形温度等。
靶材
纯度、杂质和主成分、氧氮氢元素含量、碳硫元素含量、表面组分等。
前驱体
杂质和主成分、离子色谱、电位滴定仪、表面组分、膜厚等。
零部件
金属金相分析、表面成分分析、样品截面观察分析、材料(含薄膜)结晶相分析及相比例分析、颗粒析出等。