牛津仪器AFM在半导体领域的研究进展-牛津仪器科技（上海）有限公司-仪器信息网3i讲堂

牛津仪器AFM在半导体领域的研究进展

在半导体工艺持续微缩、集成度不断提升的背景下，行业对纳米尺度计量与失效分析能力提出了更高要求。牛津仪器原子力显微镜（AFM）具有高分辨、高通量及多模式表征能力，使其在半导体工艺控制、缺陷定位及界面分析等环节中，成为兼具高分辨率与多信息通道的关键工具。本次研讨会将结合实际案例，介绍牛津仪器AFM技术在半导体领域的研究进展。