KLA仪器组仪器在表面轮廓、膜厚和材料性能的技术介绍-科磊KLA-仪器信息网3i讲堂

KLA仪器组仪器在表面轮廓、膜厚和材料性能的技术介绍

KLA Instruments™的桌面仪器为客户在测量与性质表征方面提供了多种解决方案。Tencor®系列台阶仪，接触式量测的专家；Zeta™多模阻光学轮廓仪和Filmetrics® Profilm3D®系列白光干涉仪提供了3D光学成像方案；Filmetrics F系列是业内领先的光学膜厚仪；Frilmetrics R系列桌面式方阻仪提供了金属薄膜膜厚测量和方阻检测的方案；此外，KLA Instruments的纳米压痕仪也是业内力学性质表征的先行者。