国产电镜制样设备研发进展-北京艾博智业离子技术有限公司-仪器信息网3i讲堂

国产电镜制样设备研发进展

核心技术突破 1.首台国产离子减薄仪：冶金部钢铁研究总院1981年研制GL-69型离子减薄仪，独创扁轴承式试样台，支持5-90°掠射角调节，加速电压达10kV，解决了硬脆材料无损制样难题，当年性能达国际先进水平。 2.智能化与多场景覆盖：艾博智业推出AL系列离子研磨系统，集成半导体制冷技术，实现全数字化控制离子束加工国产化，对标进口产品。产业链进展 国产替代加速：艾博智业2023年获“高新技术企业”认证，产品在国内开始替代进口产品，并拓展至国际市场。挑战与方向各种离子源（如射频离子源）仍依赖进口；未来需强化AI集成与超精密制造（如埃米级抛光），突破“工艺-设备-数据”闭环。国产离子束设备要实现从技术追赶到局部领跑，支撑半导体、新材料等领域自主可控。