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欧陆埃文思上海检测服务简介

欧陆埃文思上海提供4个方面的检测服务： SIMS （二次离子）、纯度/杂质检测、高级电子显微镜检测、ESD检测。拥有9台SIMS设备、可以检测的基底材料覆盖Si-SiO-BPSG-SOI-SiGe-SiON、GaAs、GaN-SiC、C-Diamand-GaO等，纯度检测有洁净间的ICP-MS/MS、GDMS、ICPMS、ICP-OES、IGA、GCMS、LCMS等装备，检测元素浓度从重量百分比到0.05ppba的检测范围。电子显微镜检测有FIB、ACSTEM、EDS、EELS、PCA、PED等；ACSTEM最小分辨达到63pm。