真空紫外光谱技术及其应用-HORIBA（中国）-仪器信息网3i讲堂

真空紫外光谱技术及其应用

真空紫外光谱技术专指为1-200nm光学光谱研究设计、开发的技术和光学系统。相对于200nm以上，真空紫外光谱系统对光学元件、光路设计，尤其是光谱仪核心元件——光栅，提出了极其苛刻的要求。真空紫外光谱技术作为一种经典技术，早已为同步辐射装置广泛使用。同时作为一种新兴技术，它也越来越多地应用于独立实验室，如1-200nm的荧光、光致发光、材料吸收谱反射谱、高次谐波、等离子体发射、极紫外激光表征、探测器表征等前沿科学应用领域之中。