基于JEOL SEM的高通量自动化解决方案-日本电子株式会社(JEOL)-仪器信息网3i讲堂

基于JEOL SEM的高通量自动化解决方案

1. 自动功能： JEOL SEM的高度自动化测试功能“Neo Action”，实现SEM-EDS全自动高通量观察与分析，万倍率下稳定测试成功率达100%。 2. 高效制样：新型氩离子截面抛光仪CP刻蚀速率超1200μm/h，大幅缩短硬质材料加工用时。 3. 原位激光加工：突破性的样品室内集成原位激光加工系统“LaZedge”实现样品室内激光加工，断面精细且耗时缩短10倍以上，引领微观表征迈入高通量新时代。