日本电子双束系统在半导体中的应用进展-日本电子株式会社(JEOL)-仪器信息网3i讲堂

日本电子双束系统在半导体中的应用进展

本报告将介绍日本电子双束系统JIB-PS500i在半导体领域的最新应用进展。该系统集成高分辨SEM和高性能FIB，可以实现FIB加工与STEM观察的快速切换以及简化样品的传送流程。新型双束系统可实现三维观察与分析，其独有的空气隔离传送机构可确保敏感样品在FIB和TEM间安全转移；自动化制备技术还可以有效消除人工操作差异，为半导体纳米器件分析提供了高效、完整的解决方案。