[报告]痕量杂质可视化：瑞士万通离子色谱在半导体行业的分析实践
报告时间: 2026-10-21 01:30
第七届半导体材料检测与器件分析新技术网络研讨会
2026年10月20日 01:00
李致伯
瑞士万通中国有限公司
李致伯，男，离子色谱专业委员会青年委员，现任瑞士万通中国有限公司离子色谱仪产品线产品经理。主要从事离子色谱技术和应用方法研究，多次参与国家标准方法、行业标准方法的制修定工作。在离子色谱仪产品及其行业应用方面有着十多年丰富的理论和实践经验。
半导体制造对超纯水、湿电子化学品、晶圆清洗液等介质中的痕量阴阳离子杂质控制要求严苛，离子色谱是该领域离子杂质定量检测的核心手段。瑞士万通离子色谱平台适配半导体不同样品基质的分析需求。通过将高灵敏度离子色谱分析系统与多种样品前处理技术想结合，可自动完成样品中痕量杂质离子的检测，为半导体行业提供准确可靠的杂质离子检测结果。本次报告主要介绍瑞士万通离子色谱在半导体领域典型样品中的应用与性能表现。
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