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[报告]多模态SRS/MPPL技术在半导体晶体缺陷无损检测中的前沿应用

报告时间: 2026-09-22 02:30

第五届无损检测技术进展与应用网络研讨会

2026年09月22日 01:00

毕秀茹 振电(苏州)科技有限公司

毕秀茹,现任振电(苏州)科技有限公司应用科学家。2021年毕业于中国科学院大学物理化学专业,主要从事飞秒相干拉曼光谱技术的应用开发工作,在材料应用领域积累了丰富的经验。依托振电科技的飞秒相干拉曼及多模态非线性光学技术,面向学术与工业界需求,振电(苏州)科技有限公司应用团队持续拓展该技术在多个领域的应用解决方案,涵盖半导体、类器官模型、组织病理、脂质鉴定、微塑等领域的创新应用。相比于传统光谱技术,振电科技的高光谱成像技术可提供高维数据结构,为前沿研究提供原位、无损、空间异质性等前沿分析技术。

超快相干拉曼光谱技术凭借高灵敏度、无损及快速分子指纹识别能力,在多领域展现出广泛应用前景。面向第三代半导体材料与器件对高分辨、无损、三维检测的需求,本次报告介绍了多模态SRS与MPPL显微技术在GaN穿透位错表征中的进展。该方法融合位错三维定位、拉曼峰移与局部应力/应变分析,实现伯格斯矢量解析和螺型位错判别,为半导体材料衬底质量评价、晶体生长优化及功率器件可靠性研究提供新的检测思路。 关键词:超快相干拉曼、半导体、位错、前沿应用

振电(苏州)科技有限公司

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