[报告]牛津仪器AFM在半导体领域的研究进展
报告时间: 2026-10-20 07:30
第七届半导体材料检测与器件分析新技术网络研讨会
2026年10月20日 01:00
连叶
牛津仪器科技（上海）有限公司
2018年博士毕业于哈尔滨工业大学化学工程与技术专业，博士期间主要研究方向为四元合金的电沉积机理及其性能。目前作为牛津仪器应用科学家，主要负责原子力显微镜的应用推广及技术支持。
在半导体工艺持续微缩、集成度不断提升的背景下，行业对纳米尺度计量与失效分析能力提出了更高要求。牛津仪器原子力显微镜（AFM）具有高分辨、高通量及多模式表征能力，使其在半导体工艺控制、缺陷定位及界面分析等环节中，成为兼具高分辨率与多信息通道的关键工具。本次研讨会将结合实际案例，介绍牛津仪器AFM技术在半导体领域的研究进展。
牛津仪器科技（上海）有限公司
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