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[报告]费勉科技_X射线光电子能谱仪介绍

报告时间: 2026-06-09 01:50

第十三届表面分析技术应用论坛暨表面化学分析国家标准宣贯会网络研讨会

2026年06月09日 01:00

赵嘉峰 费勉科技(上海)股份有限公司

赵嘉峰,复旦大学凝聚态物理博士,表面分析专家,现任费勉科技董事长。曾就职于赛默飞世尔、KLA-Tencor,具备从原理设计到产业化的全链条经验。2021年获华为哈勃投资, 2023年率队成功研制首台国产化工业在线XPS设备(泰坦系列),核心部件全面自研,兼容12英寸晶圆全尺寸无损检测,实现国内硅片产线首次应用。2025年推出精卫100系列紧凑型科研整机,对标国际高端型号,集成百微米光斑与高灵敏检测系统。团队首创深度学习XPS解谱技术,实现元素识别与化学态智能分析。2024年项目获质量攻关二等奖。哈勃连续两年领投共1.3亿元,彰显国产半导体量测装备的硬核突破。

费勉科技推出新一代国产化X射线光电子能谱仪(XPS),核心部件全自研,性能对标国际主流型号,成本降低约40%。产品包括精卫系列(科研通用/高配)和泰坦系列(工业超大工件),支持定制化与真空互联,已应用于半导体、新能源等领域,打破技术垄断,保障供应链安全。

费勉科技(上海)股份有限公司

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