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[报告]纳米压痕技术在薄膜材料力学性能表征中的应用

报告时间: 2026-04-16 06:50

KLA全方位薄膜表征解决方案:从膜厚、电阻、应力到纳米力学的多维解析

2026年04月16日 06:00

谢存毅 KLA

博士/应用科学家,1983年7月毕业于南京大学物理系,获理学学士学位。1983.7-1995.4, 中国科学院固体物理研究所,94年晋升为副研究员。95年5月-99年6月 博士生/兼助教,瑞士洛桑联邦高等工业大学, 获理学博士位,99.7-99.12, 英国谢菲尔德大学从事博士后研究工作,自从00年加入KLA Corporation公司至今(08年6月之前:MTS系统公司,08年7月-14年7月:Agilent Technologies公司, 14年8月-18年3月:Keysight Technologies,18年4月—至今:KLA Corporation),一直从事纳米力学测试的技术工作。本人的研究经历主要集中在材料中的微观结构,缺陷态和力学性质及其纳米材料的制备、表征、物性测量等方面,特别是纳米压痕、纳米划痕的理论、原理和实验技术。所研究的材料包括金属、陶瓷、高Tc超导体、纳米材料及多种表面涂层、表面改性材料等。本人在“Journal of Applied Physic”、“Mater. Sci. & Eng. A”、“中国科学”和“科学通报”等国内外著名期刊上共发表了近30余篇 学术 论文。

纳米压痕技术广泛应用于薄膜材料的微观力学性能表征。该技术利用连续刚度测量和Hay-Crawford model分析等功能,可精确测量薄膜的硬度和弹性模量,避免基底效应的影响。此外,该技术还可通过划痕测试评估膜基结合力。

科磊KLA

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