登录
首页 特色检测 送检中心 检测机构 资讯 标准库 质量知声 人才频道 仪课通

[报告]扫描探针显微技术在存储器领域的研究应用

报告时间: 2025-10-24 07:30

第六届半导体材料与器件分析检测新技术网络研讨会

2025年10月23日 01:00

魏家琦 致真精密仪器(青岛)有限公司

魏家琦,致真精密仪器(青岛)有限公司技术专家,获北京航空航天大学和法国洛林大学双博士学位,入选泰山学者青年专家(2025)。主要研究方向为集成电路先进工艺检测技术开发、集成电路精密量测设备开发、大容量磁存储器设计等,主持国家自然科学基金青年项目、中关村概念验证项目、中关村“揭榜挂帅”专项等项目5项;以第一或通讯作者共发表SCI学术论文15篇,累计申请/授权专利23件。带领项目团队自主研发科研级与晶圆级原子力显微镜,获得北京大学、哈尔滨工业大学、厦门大学等国内知名研究机构订单。

扫描探针显微技术是存储器领域精准表征的核心工具,其基础原子力显微镜(AFM)可拓展磁力显微镜(MFM)、导电原子力显微镜(C-AFM)、扫描电容显微镜(SCM)、压电力显微镜(PFM)等模式。基于该技术的延伸开发,报告还将介绍纳米多探针设备包括其探针间距控制算法与电学短脉冲测量能力,及其在 SRAM 等存储器性能表征、缺陷分析中的具体应用。

致真精密仪器(青岛)有限公司

更多TA参与会议报告>
我的邀请卡 查看回放
客服电话:010-51654077-8363(9:00-18:00) Woyaoce.cn Copyright © 2021 All Rights Reserved 信立方旗下网站: 仪器信息网 | 我要测 | 仪课通