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[报告]高灵敏之眼:科学相机驱动国产半导体缺陷检测的精度革命

报告时间: 2025-10-23 02:00

第六届半导体材料与器件分析检测新技术网络研讨会

2025年10月23日 01:00

林静 福建鑫图光电有限公司

鑫图光电半导体业务负责人,拥有15年成像领域全链条经验,历经研发、技术、市场、销售多职能淬炼。精通产品开发原理与行业标准,深度洞察用户需求。近年率团队深耕半导体量检测市场,深度掌握半导体量检测行业痛点与国产替代路径,为头部企业提供高行频TDI相机及深度制冷科研相机,突破多项卡脖子工艺难题。

“国产半导体制程迈入7nm以下,缺陷检测面临 “纳米级缺陷捕获” 效率极低,传统系统难以支撑实时分析,同时半导体缺陷检测设备国产化率不足10%,核心设备依赖美日企业,导致采购成本高、维护周期长,后续升级困难等。鑫图光电深耕高端科研成像行业近20年,以专业的图像信号处理能力、超高真空深度制冷技术,超快的数据传输带宽,以及低至13.5nm,193nm等短波光谱成像工艺经验,为半导体行业提供科学级制冷高速TDI相机,以超高信噪比的专业图像,精确捕捉晶圆生产工艺段极其微小缺陷,为半导体设备的国产化提供核心成像解决方案。

福州鑫图光电有限公司

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