[报告]KLA方阻测量仪的原理及其晶硅太阳能电池中的应用
报告时间: 2025-03-25 07:25
KLA 太阳能电池片领域的全套解决方案
2025年03月25日 02:00
王世源
KLA科磊半导体
博士/应用工程师，2017年6月毕业于复旦大学物理学系，获得学士学位，2017-2023年于复旦大学应用表面物理国家重点实验室学系，研究方向涵盖了先进扫描探针的开发与表征工作，曾于国家科学评论，科学通报，物理评论X等杂志上发表多篇学术论文，2023年6月获得凝聚态物理博士学位。他于2024年加入KLA公司，作为KLA Instruments部门的应用工程师，参与了KLA新一代桌面式方阻测量设备的应用测试与开发，积累了丰富的方阻测量案例与测试经验。
在晶硅太阳能电池工艺路线中，对产品方阻的监控是产品质量控制的重要一环。KLA在电阻率测量方面积累了超过40年的创新经验，其方块电阻测量系统具备优异的稳定性与准确性，在半导体行业中广受认可。
本次报告将分享将KLA新一代桌面式方阻设备的测量原理，以及其应用于晶硅太阳能电池表征的案例。
科磊KLA
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