[报告]KLA光学轮廓仪在晶硅太阳能电池中的应用
报告时间: 2025-03-25 06:00
KLA 太阳能电池片领域的全套解决方案
2025年03月25日 02:00
曾佳宇
KLA科磊半导体
2015获英国伦敦大学玛丽女王学院材料科学专业硕士学位，2017年加入KLA 科磊半导体设备技术上海有限公司至今，长期从事非接触式光学轮廓仪设备的技术开发与支持工作，其中包括白光干涉和共聚焦量测技术，这些技术在硅基半导体，化合物半导体以及太阳能电池片制造方面都得到广泛的应用。积累了丰富的测量经验和客户案例。
在晶硅太阳能电池工艺路线中，金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量，成为重要的检验标准。表面栅线印刷的质量和降低金属化的成本，对晶硅光伏的转化效率产生重要影响。对产品绒面和栅线的监控是产品质量控制的重要一环。本次报告将分享KLA Zeta光学轮廓仪在绒面和表面栅线轮廓上的测量应用。
科磊KLA
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