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[报告]eWarp-带您走进EBSD 4.0时代

报告时间: 2025-06-25 03:00

第十一届电子显微学网络会议(iCEM 2025)

2025年06月24日 01:00

陈剑峰 布鲁克(北京)科技有限公司

2003年毕业于中科院长春应化所,主要研究方向是高分辨电子显微镜在高分子结晶中的应用,毕业后加入FEI,负责SEM/SDB的应用、培训以及市场等推广工作。2011年加入安捷伦公司负责SEM的市场和应用工作,2018年在赛默飞负责SEM的应用工作。2021年加入布鲁克,负责EDS,、EBSD、 Micro-XRF等产品的技术支持工作,对电子显微镜的相关应用具有多年的实操经验。

虽然EBSD技术在过去的二十年里已经得到了很好的发展,但是由于探测器硬件的限制,使得常规的EBSD分析还是只能在相对较高的加速电压比如20kV,和较大的电子束流下进行花样的采集,同时由于花样要通过磷屏转到CCD或是CMOS单元,产生信号的损失和花样的变形,从而使得探测器的灵敏度,采集速度和最终的标定率都受到很大的限制,最近的直接电子探测技术已经开始用于EBSD并由不同厂家开始推出相关的产品,从而使EBSD的技术得以在更低的加速电压,更小的电子束流下工作,实现了更高的灵敏度,更快的采集速度,更好的空间分辨率,对EBSD的应用场景也带来了一些更积极的变化,本次报告主要以布鲁克公司新推出的高灵敏度超快直接电子探测的eWarp产品的一些最新检测结果为核心进行一些相关的介绍和讨论。

布鲁克电子显微纳米分析仪器部

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