[报告]半导体实验中器皿洁净度控制方案
报告时间: 2023-05-11 07:30
第二届半导体工艺及检测技术网络会议
2023年05月10日 01:30
张迪
天津语瓶仪器技术有限公司
语瓶应用工程师，拥有多项洗瓶机专利。多年来一直致力于各行业实验室标准化清洗方案的应用、器皿清洁验证方法开发与推广工作，拥有丰富的理论与实践经验。
半导体实验过程中对器皿洁净度的要求是很高的，器皿的清洗是否标准化、过程是否可重复、清洗效果是否可验证，决定着实验的成败。人工清洗效率低下、成本高、泡酸缸对清洗人员有较大职业病危害等问题不容忽视。随着科技发展我们更迫切需要一种全新的更安全、更便捷、更洁净的清洗工艺技术，为实验室实现大通量全自动化清洗、降低成本、保护操作人员健康、助力半导体的生产工作提供有力保障。
天津语瓶仪器技术有限公司
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