[报告]海洋光学微型光谱仪在半导体领域的应用
报告时间: 2023-05-10 06:30
第二届半导体工艺及检测技术网络会议
2023年05月10日 01:30
卢坤俊
海洋光学亚洲公司
现任海洋光学亚洲公司高级应用经理，毕业于南京农业大学，拥有应用化学硕士学位。主要负责光纤光谱仪相关产品的技术支持与光谱解决方案的应用开发工作，具有10年以上的环境、智能农业、化工、消费电子领域的应用背景。
介绍海洋光学公司及工业客户合作模式，并分享海洋光学微型光谱仪在半导体膜厚测量，CMP过程膜厚测量， PECVD过程监控，Plasma Etching终点指示以及 Plasma Cleaning过程监控中的原理及应用。
海洋光学亚洲公司
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