[报告]扫描电容显微镜在FA实验室的应用
报告时间: 2021-08-18 08:30
第三届原子力显微镜网络主题研讨会（2021）
2021年08月18日 01:00
潘涛
Park原子力显微镜
资深AFM应用工程师，在AFM领域工作5年，具有丰富的AFM的样品测试经验。长期从事测量力学性能的纳米尺度表征，加入帕克（Park）公司后，主要从事原子力显微镜在计量领域的相关应用。
扫描电容显微镜 (SCM) 通过在涂覆导电材料的尖端和样品之间施加电场来测量半导体表面电容的空间变化。通过确定离子注入表面中的二维掺杂浓度分布来表征半导体器件。可用于半导体器件的FA失效分析及半导体流程控制。本次
讲座讲述其在FA实验室的应用。
Park帕克原子力显微镜
更多TA参与会议报告>
推荐视频
我的邀请卡
查看回放
