超声波显微镜 (SAT)，又称为C-SAM。此检测为应用超声波与不同密度材料的反射速率及能量不同的特性来进行分析。

利用纯水当介质传输超声波信号，当讯号遇到不同材料的界面时会部分反射及穿透，此种发射回波强度会因为材料密度不同而有所差异，扫描声学显微镜就是利用此特性，来检验材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成像。

目的：无损检测电子元器件、LED、金属基板的分层、裂纹等缺陷（裂纹、分层、空洞等）；通过图像对比度判别材料内部声阻抗差异、确定缺陷形状和尺寸、确定缺陷方位。

应用范围：塑料封装IC、晶片、PCB、LED

测试步骤：

确认样品类型→选择频率探头→放置测量装置中→选择扫描模式→扫描图像→缺陷分析