电子标准院建成微波毫米波器件测试平台

目前在5G移动通信、雷达和自动驾驶等产业的驱动下，微波毫米波器件作为核心元器件取得了快速发展。2020年3月，工信部《关于推动5G加快发展通知》指出，持续支持5G核心芯片、关键元器件、基础软件、仪器仪表等重点领域研发，加快5G检测认证平台建设，面向5G系统、终端、服务、安全等各环节提升测试、检验、认证等服务能力，降低企业研发及应用成本。

为满足微波毫米波器件的测试需求，电子标准院建成微波毫米波器件及晶圆在片测试平台。该平台可完成8英寸及以下微波裸芯片、封装器件和毫米波天线电性能参数测试，测试参数包括直流IV、单端及差分S参数、功率、噪声、1dB压缩点、非线性、ET、DPD、EVM和天线方向图及增益等参数的测试。半自动高低温探针台配备了高低温系统，可完成-60℃~300℃范围内裸芯片在片测试。

平台现有晶圆测试探针台5台（其中直流1台，微波4台）、5247B矢量网络分析仪、5242矢量网络分析仪、Maury负载牵引系统（3套，其中1套有源负载牵引）、N8975A噪声系数分析仪、N9030A信号源分析仪、FSW43频谱仪、8257D信号源、8267D信号源，功率放大器、SMW200A矢量信号发生器、N1911功率计、B1505半导体参数分析仪和微波功率管寿命试验系统等主流测试仪器和设备60余台/套。其中，

矢量网络分析仪主机67GHz，扩频至220GHz，支持脉冲微波测试、110GHz四端口测试（混频、谐波等非线性测试）；

信号源扩频至220Ghz，功率计扩频至220Ghz，噪声分析仪扩频至110GHz，频谱仪扩频至170Ghz；

功率负载牵引系统：0.8GHz~110GHz；

噪声负载牵引系统：0.8GHz~50GHz；

固态功率放大器：10kHz~110GHz，1W~400W；

天线扫描系统：0.75GHz ~40GHz球面扫描，0.6 GHz ~110GHz平面扫描。

平台可测器件包括功率放大器、微波天线、混频器、滤波器、PIN管开关、微波单片电路（MMIC）、微波分立器件、射频/微波电连接器和TR组件等。

图1微波毫米波裸芯片在片测试系统

图2 5G微波元器件测试系统

图3 微波毫米波天线测试系统

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