高级
已认证
放心测
衬底材料-粗糙度
资质：
适用范围：
领域分类：材料-半导体材料-其他
检测项目：粗糙度
详情介绍：
服务背景
检测内容
检测标准
样品要求
3个长宽大于5*5cm的样品；
要求异形面少，测试区域尽量平整；
最大尺寸：D304mm*W304mm*H249mm；
测试详情
测试样品的粗糙度；
设备详情
垂直扫描高度范围：0.15nm– 10mm ；垂直分辨率＜0.15nm；
RMS重现性：0.03nm；光学分辨率：0.49μm；台阶测试精度：5%；
测试须知
样品表面需要保持光滑、无缺陷、无粗糙度、无污渍等；
| 产品名称 | 检测标准 | 检测项目 |
| 衬底材料 | JB/T 7976-2010 轮廓法测量表面粗糙度的仪器 | 粗糙度 |
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