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放心测
晶圆盒-粗糙度测试
发布时间：2024-10-11 浏览量：20次
测试详情：FOSB不同Slot部位的粗糙度
测试设备：表面轮廓仪
结论：
?FOSB不同Slot部位的粗糙度Sa存在差异
?Step2位置的粗糙度Sa比Step1和3高
测试详情：FOSB不同Slot部位的粗糙度
测试设备：表面轮廓仪
结论：
?FOSB不同Slot部位的粗糙度Sa存在差异
?Step2位置的粗糙度Sa比Step1和3高
