测试结果

①从磨粒形貌图判断抛光液磨粒大致形貌，该抛光液样品普遍为圆形磨粒 ②从主要磨粒粒径图对多数磨粒大小进行判断，该抛光液主要磨粒分布大致在100nm ③SEM-EDX抛光液磨粒组成元素分析，该抛光液中含有C、O、Si、La、Ce五种元素，初步判断C来源于抛光后抛光垫磨耗残留，Si含量最大，来源于硅片基底，La、Ce和O来源于抛光液磨粒，判断该抛光液磨粒组成为氧化镧和氧化铈。

图1：SEM磨粒形貌图

图2：SEM主要磨粒粒径

图3：SEM-EDX抛光液磨粒组成元素分析