上海集材汇智集成电路技术有限公司
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放心测
晶圆盒-金杂测试
发布时间:2024-10-11 浏览量:25次

测试详情:不同FOSB清洗液的金属离子污染物浓度测试 

测试设备:ICPMS 

可测试元素种类:34种

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结论

?不同FOSB金属离子污染物浓度存在差异,与清洗、生产等样品状态同样存在较大关联 

?Na、K、Ca等环境相关离子浓度显著高于其他离子浓度

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