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晶圆盒-密闭性
发布时间：2024-10-11 浏览量：22次

测试三种不同晶圆盒的密闭性，每个晶圆盒测试三个部位：filter，filter周围，门板一周。从图中可以看到，三种晶圆盒的密闭性存在差异

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