领域分类:电子电器-电子元器件-其他
检测项目:有损检测,扫描式电子显微镜(SEM),失效分析
扫描式电子显微镜(Scanning Electron microscopy, SEM)主要是利用微小聚焦的电子束(Electron Beam)进行样品表面扫描,激发样品产生各种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等,SEM主要就是收集从表面发出的二次电子形成样品的表面图像。
检测方法:
制样品后,导电性差的产品需要镀金量,属于有损检测
测试范围:
针对各种材料表面微结构观察;
SEM测量样品尺寸;
EDS可针对样品表面,进行微区定性与半定量成份元素分析/ 特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析;
EDS可在低电压下,提升Mapping的空间分辨率;
SEM自动拍照,搭配去层技术De-Process,可提供电路逆向工程参考;
利用低能电子束扫描做被动式电压对比(Passive Voltage Contrast, PVC),对于异常漏电或接触不良的半导体组件损坏可精准定位。
特点:
仪器分辨本领较高。二次电子像分辨可达1nm(场发射)3nm(钨灯丝)。
仪器放大倍数变化范围大(从几倍到几十万倍),且连续可调。
图像景深大,富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面(如金属和陶瓷的断口等)。
试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理,就可直接放到SEM中进行观察。一般来说,比透射电镜(TEM)的制样简单,且可使图像更接近于试样的真实状态。
适用于:
微观缺陷观察,一般与其他检测项目搭配使用,如切片测试、开盖测试等。液体,有磁性样品,粉末,气体不在检测范围。
检测图片:
半导体芯片剖面分析:
EDS mapping:
检测设备图片:
HITACHI SU8220
产品名称 | 检测标准 | 检测项目 |
电子元器件 | 依客户要求 | 扫描式电子显微镜(SEM) |
兔拉检测拥有专业的开发团队,检测结果准确,工期短,高效完成客户的需求。
1、采用业界主流的场发射扫描式电子显微镜进口设备,分析精度可达5nm;
2、(扫描电镜,FE-SEM):FEI Nova Nano 450、Hitachi su8010、Hitachi SU8220,且加装EDS (SDD detector),可提供高解析之表面结构分析影像,亦可快速进行材料成份之分析。