X射线光电子能谱仪样品元素分析是利用x射线产生电子发射的设备，不但为物理、材料、化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、 化学键方面的信息。它在分析电子材料时，不但可提供总体方面的物理、化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面 的信息。 另外，因为 入射到样品表面的X射线束是一种光子束，所以对样品的破坏性非常小，可以用于固体样品的表面组成分析，化学状态分析等。

光电子能谱仪样品元素分析是一种表面分析技术，可以提供元素的定性、半定量、化学成像、表面价态、深度剖析等信息。

主要用来表征材料表面元素及其化学状态。

1、 表面元素定性分析

2、 表面元素的半定量分析

3、 固体表面分析

4、 化合物的结构

岛津Axis Supra参数：

1.XPS能量分辨率0.48eV(Ag 3d5/2);2.最小分析面积15μm;3.XPS成像空间分辨率3μm;4.测量不确定度0.2eV

要求固体样品:不含挥发性组分，最小平面直径不小于1mm，平面直径不超过40mm，厚度不超过10mm，特殊尺寸请单独说明。