如果要分析材料微区成分元素种类与含量，往往有多种方法，打能谱就是我们最常用的手段。能谱具有操作简单、分析速度快以及结果直观等特点，最重要的是其价格相比于高大上的电镜来说更为低廉，因此能谱也成为了目前电镜的标配。

扫描电子显微镜（SEM）和 X射线能谱仪（EDS）是现代材料分析领域比较常见的两种分析设备，基本上都是组合在一起使用的，功能非常强大，即能观察样品的表面形貌又能对微区进行成分分析。因为特征 X射线主要从微米级深度射出，SEM-EDS技术用于成分分析时，属于体分析，SEM所用的加速电压一般20kV左右。因此，目前很少有人研究低加速电压下的SEM-EDS技术。本论文尝试使用更低的加速电压对材料进行分析，希望能获得表面的特征 X射线用以分析，探索 SEM-EDS在表面成分分析中的应用。研究的主要内容有使用SEM-EDS技术分析纳米薄膜材料的组成、计算能体现表面灵敏度的电子的非弹性散射平均自由程（IMFP）、尝试分析多层膜。主要研究手段就是使用SEM-EDS进行成分分析、对成分信息进行适当处理等

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