在材料分析表征领域，除了要获得样品表面的成分外，人们还希望了解样品在纵深方向上，不同成分是如何分布，以全面掌握样品的各种信息；X-光电子能谱仪 (X-ray Photoelectron Spectroscopy 简称XPS)，作为一种常规样品表面成分表征手段，除了可以提供样品表面的成分和元素的化学状态，还可以配合溅射离子枪，对样品进行逐层剥离，获取样品在深度方向的成分和化学态信息

XPS（X射线光电子能谱分析）分析方法包括：

1、元素的定性分析，可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置的鉴定除H、He以外的所有元素。

2、元素的定量分析，根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。

3、固体表面分析，包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。

XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。以光电子的动能/束缚能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。

化学状态分析简称状态分析:对环境中化学物质的原子状态和分子的结构、元索和各种化 学物种存在的形式进行鉴别与分析的统称。化学物质在不同 环境条件、不同介质中常以各种化学状态存在，并不断变化二 测定化学物种需用现代物理的分析方法，如X射线衍射、电 子和离子微探针、傅里叶变换红外光谱、紫外光谱、旋光光id , 扫描电镜、色谱一质谱联月、核磁共振、顺磁共振、穆斯鲍尔谱 等