1. 设备型号

TF20 场发射透射电镜，配备能谱仪

2.原理

透射电子显微镜（Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。

3. 主要规格及技术指标

4. 主要功能及应用范围

观察各种材料的微观结构并对样品进行纳米尺度的微区分析，如：

形貌观察；

高分辨电子显微像；

电子衍射；

会聚束电子衍射；

衍射衬度成像；

X射线能谱分析等。

5. 送样需知

5.1粉末样品基本要求

（1）单颗粉末尺寸最好小于1μm；

（2）无磁性；

（3）以无机成分为主，否则会造成电镜严重的污染，高压跳掉，甚至击坏高压枪；

5.2块状样品基本要求

（1）需要电解减薄或离子减薄，获得几十纳米的薄区才能观察；

（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察；

（3）无磁性；

6. 案例分析

（1）FIB+HRTEM+EDS 半导体薄膜领域

（2）FIB+TEM+EDS 半导体LED领域

（3）磨抛+离子减薄+HRTEM 量子阱领域

（4）FIB+HRTEM+EELS  纳米线截面观察及能谱分析