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X 射线光电子能谱 (XPS)，也被称为化学分析电子能谱 (ESCA)，是分析材料表面化学性质的一项技术。 XPS 可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学价态和电子态。 用一束 X 射线激发固体表面，同时测量被分析材料表面 1-10 nm 内发射出电子的动能，而得到 XPS 谱。 通过对激发出的超过一定动能的电子进行计数，可以得到光电子谱。 光电子谱中出现的谱峰为原子中发射的一定特征能量电子。 光电子谱峰的能量和强度可用于定性和定量分析所有表面元素（氢元素除外）。