领域分类:电子电器_电子电气_其他
检测项目:材料分析,性能测试
1. 原理
EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、line scan、mapping分析。
2. 分析数据注意点
主要用于元素的定性分析;
能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;
EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对指定的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个指定面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值;
EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右;
EDS常常与SEM结合使用,可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析;
检测极限:0.1%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般为1~5微米。
3. 应用领域及分析案例
(1)灯珠来料元素检测
(2)芯片结构分析
(3)支架结构分析
(4)锂电池材料元素分布
(5)其他方面应用
产品名称 | 检测标准 | 检测项目 |
EDS能谱仪 | 标准 | 物质元素分析 |