FIB制作TEM样品

样品制备是TEM分析技术中非常重要的一环， 但由于电子束的穿透力很弱， 因此用于TEM的样品必须制备成厚度约为0.1μm的超薄切片。要将样品切割成如此薄的切片，许多情况下需要用到FIB(Focus Ion Beam， 聚焦离子束) 进行TEM样品的制备。