主要用于材料、生物体、高分子、无机非金属、金属材料等表面形貌观察与分析，以及微区元素分析。广泛应用于生物、能源、材料、化工、环境等研究。

主要功能：

1. 二次电子形貌（SEI）：对试样进行表面形貌观察分析；
2. 背反射成分像/形貌像（BEI）：对试样进行更深一层的形貌观察，并得到原子序数衬度；
3. 元素的定性定量分析（EDX）：结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析；
4. 图像分析处理系统（IPS）：根据所得图像，对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。