欧波同智能化半导体器件分析方案-北京欧波同光学技术有限公司-仪器信息网3i讲堂

欧波同智能化半导体器件分析方案

随着半导体器件向先进制程与先进封装演进，可靠性退化与失效机理分析对检测技术提出了原子级分辨、多维关联与高通量智能化的要求。本报告依托欧波同（OPTON）集团全尺度显微分析平台，系统介绍面向半导体器件性能、可靠性与失效分析的检测技术方案。通过SEM耦合EBIC、CL、EBSD及电压衬度等多模式，实现PN结参数、位错缺陷、晶粒取向与内应力等关键信息的无损获取，为栅介质退化、金属化疲劳、键合焊点失效提供机理性判据；搭载ChemiSEM实时定量元素成像，元素获取较传统EDS提速2–4倍，加快缺陷化学溯源。双束电镜配合Auto TEM自动化制样与Laser/PFIB大体积加工，结合S/TEM原子尺度表征实现失效点定点切割与三维重构针对批量高通量需求，融合汇鸿智能微观AI图像分析，实现颗粒、裂纹、孔隙自动统计与关键尺寸自动测量，推动显微分析标准化、智能化。