扫描探针显微技术在存储器领域的研究应用-致真精密仪器（青岛）有限公司-仪器信息网3i讲堂

扫描探针显微技术在存储器领域的研究应用

扫描探针显微技术是存储器领域精准表征的核心工具，其基础原子力显微镜（AFM）可拓展磁力显微镜（MFM）、导电原子力显微镜（C-AFM）、扫描电容显微镜（SCM）、压电力显微镜（PFM）等模式。基于该技术的延伸开发，报告还将介绍纳米多探针设备包括其探针间距控制算法与电学短脉冲测量能力，及其在 SRAM 等存储器性能表征、缺陷分析中的具体应用。